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微讲座 | CUMEC组织开展工艺技术专题讲座

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  • 发布时间:2019-10-09

      8月14日,CUMEC公司邀请陶氏化学公司应用与技术经理Gillot博士就工艺流程和技术作 “Journey across the nodes”专题讲座。CUMEC公司高级总监郭进、首席工艺师朱继光,工艺部部长王学毅、副部长向鹏飞,各中心负责人、项目经理及相关技术人员近50人参加讲座。

      Gillot博士围绕化学机械研磨(CMP),氮化硅波导和硅波导整合(cointegration SiN-Si)等工艺流程和技术,旁征博引、深入浅出地为与会学员做了详细的介绍和讲解,并通过现场提问答疑的方式与学员们互动交流。同时,Gillot博士还分享了与IMEC合作的项目管理经验以及在BASF、GF、HUAWEI等不同公司的工作经历。

      Gillot博士是CMP、半导体集成以及材料方面的专家,拥有近30年相关工作经验,先后服务于阿尔卡特微电子、Atmel实验室、英特尔、JSR微电子、BASF、GLOBAL FOUNDRIES、华为等全球知名半导体企业。


      此次专题讲座,深化了与会学员对CMP工艺和SiN/SOI集成等工艺技术的认识和了解,对公司工艺技术能力的提升具有较大的促进作用。

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